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Dettaglio Spiegazione del sensore di pressione del silicio diffuso

Il sensore di pressione è un tipo di sensore di pressione che può essere utilizzato in acciaio, chimico e altri campi per misurare la pressione e può realizzare il controllo automatico della pressione se utilizzato insieme al regolatore di pressione.

Sensore di pressione del silicio di diffusione /Introduzione al principio

Il sensore di pressione del silicio di diffusione si basa sul principio dell'effetto piezoresistivo, utilizzando la tecnologia di processo integrata attraverso il doping e la diffusione, lungo la caratteristica direzione cristallina sul wafer di silicio a cristallo singolo, per formare una resistenza di deformazione per formare un ponte di grano in silicone elastico elastici di silicone elastico. e viene fabbricato il rilevamento della conversione della forza-elettrica.

La pressione del sensore di pressione del silicio diffuso agisce direttamente sul diaframma del sensore (acciaio inossidabile o ceramica), causando il diaframma a produrre un proporzionale proporzionale alla pressione del mezzo e il valore di resistenza del sensore. Il circuito elettronico rileva questo cambiamento e lo converte. Un segnale di misurazione standard corrispondente a questa pressione è l'uscita.

Caratteristiche del sensore di pressione al silicio diffusione

1. Adatto per fare trasmettitori su piccola scala

L'effetto piezoresistivo del resistore sensibile alla forza del chip di silicio non ha una zona morta nella gamma bassa vicino al punto zero e l'intervallo del sensore di pressione può essere piccolo quanto diversi KPA.

2. Sensibilità ad alta uscita

Il fattore di sensibilità della resistenza alla deformazione del silicio è da 50 a 100 volte superiore a quello del calibro di deformazione del metallo, quindi la sensibilità del sensore corrispondente è molto elevata e l'uscita dell'intervallo generale è di circa 100 mV. Pertanto, non esistono requisiti speciali per il circuito di interfaccia ed è più conveniente da utilizzare.

3. alta precisione

Poiché il rilevamento, la conversione sensibile e il rilevamento del sensore sono realizzati dallo stesso componente, non esiste un collegamento di conversione intermedio e gli errori di ripetibilità e isteresi sono piccoli. Poiché il silicio monocristallino stesso ha un'elevata rigidità e una piccola deformazione, viene garantita una buona linearità.

4. Poiché la deformazione unisessuale del lavoro è bassa quanto l'ordine del micro-ceppo, lo spostamento massimo del chip elastico è nell'ordine del sub-micron, quindi non c'è usura, affaticamento, nessuna invecchiamento e la durata della vita è lungo fino a 1 × 107 ciclo di pressione, con prestazioni stabili e alta affidabilità.

5. A causa dell'eccellente resistenza alla corrosione chimica del silicio, anche i sensori di pressione del silicio diffuso non isolati hanno la capacità di adattarsi a vari media in misura considerevole.

6. Poiché il chip adotta un processo integrato e non ha componenti di trasmissione, è di dimensioni ridotte e di peso.

 

Precauzioni del sensore di pressione di silicio diffusione per l'uso

1.Quando raggio o sotto-range, l'ampiezza deve essere controllata entro ± 30%FS.

2.La modalità di pressione è divisa in pressione di calibro, pressione assoluta e pressione di tenuta, che può essere selezionata ragionevolmente in base alle esigenze.

3. Confrontare il massimo sovraccarico del sistema. Il massimo sovraccarico del sistema dovrebbe essere inferiore al limite di protezione da sovraccarico del sensore, altrimenti influenzerà la durata del prodotto e persino danneggerà il prodotto.

4. Non toccare il diaframma con oggetti duri, altrimenti causerà la rottura del diaframma.

5. Il materiale e il processo di produzione del nucleo di pressione negativa non sono uguali alla pressione positiva, quindi il nucleo di pressione negativo non può essere sostituito dal nucleo di pressione del calibro.

6. Si prega di controllare attentamente il manuale di istruzioni prima dell'installazione per evitare danni al prodotto causato da un'installazione errata.

7. L'uso di impropri può portare a pericoli e lesioni personali.

8. Il nucleo viene estratto dall'alloggiamento ed è vietato tirare i fili e le gambe del tubo.

APPLICAZIONI DEL SENSORE DI PRESSIONE DEL SILICO DI DIFUSIONE

I sensori di pressione del silicio di diffusione sono utilizzati principalmente nei sistemi di controllo del processo, strumenti di calibrazione della pressione, sistemi idraulici, strumenti biomedici, sistemi idraulici e valvole, misurazione a livello di liquido, apparecchiature di refrigerazione e industrie di controllo HVAC. Si può dire che tutte le industrie con elevati requisiti di automazione possono utilizzare sensori di pressione del silicio diffuso.


Post Time: agosto-15-2022
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